本人从事半导体三年有余，一年5寸，一年6寸，一年12寸，目前在国内顶尖的fab内担任设备工程师，现在疫情居家中，闲来无事给大家整理一下，如有业内人士看到，如有不对之处，请指正。感谢。

 

工艺相关 ：

12 inches or 8 inches 晶圆直径大小，分别对应是300mm和200mm，更早期有4寸，5寸

wafer 晶圆

die 单指一颗芯片

pvd 物理气相沉积

cvd 化学气相沉积

wet 湿法刻蚀

etch 干法刻蚀

lithography ，litho，photo都指光刻

cmp 化学机械研磨

diffusion 炉管

implant 离子植入

slurry 研磨液

photoresist 光刻胶或者光阻

chemical 化学材料

DIW 去离子水也叫纯水

PCW 厂务水

CDA 压缩空气

PN2 制程氮气

GN2 普通氮气

gas 化学反应气体，比如etch或者cvd所用的气体

target 靶材，一般是pvd会用到

设备相关：

compressor 压缩机

chiller 冷却器

tank 施法刻蚀的反应容器

cable 线缆，一般为铜，接通电源所用

ESC 静电卡盘

lifter pin 升降针

O ring 密封圈

generator 电源

MFC 气体质量流量计

gauge 测量仪器，一般用来监控反应腔体压力

tool 工艺机台

chamber 工艺腔体

ARM or robot 用来取晶圆的机械手臂

foup（12吋） or cassette （8吋） 盛放晶圆的器具

PM prevention maintaince 预防性保养，针对机台或者腔体

P Monitor， particle monitor，缺陷监控

通用类型：

daily ，每天

weekly， 每周

monthly，每月

case 问题，一般设备工程师处理了一个设备故障，面试的时候面试官会问说出你之前印象深刻的case，就是这个意思。

due day ，类似于deadline，某个任务的截止日期，在这个日期前要完成。

passdwon 交接，fab生产是24小时不停的，所以有些部门会有白班夜班，白夜班的交接就叫passdown，当然不限于此，比如A负责一个项目，最近有事需要请假一周，领导安排B这一周负责，那A就要和B交接好，这个也叫passdown

backup，中文叫备胎？上面的B就可以叫做A的backup，当A有事的时候，B可以继续负责A的工作，保证工作不会因为A的请假离开而中断

onduty 值班，因为周末生产不停，所以周末也会安排值班，就叫做onduty

trend chart，趋势线/图，半导体中有很多监控参数，每一个参数都会按照一定的频率进行监控，这个参数随时间的变化趋势就叫做trend chart

spec ，规格，每一个参数的trend chart 都会有一个规格来限定，确保这个参数是稳定安全的，那这个规格就叫spec，有些参数只有最小规格限制，有些只有最大规格限制，有些是最大最小规格限制都有

co—work 合作，半导体中任何一个项目的成功都是很多团队共同合作达到的

Ack. 这个一般放在报告ppt中，后面跟着人名，一般是你的报告中的某些数据或者图表如果来这于公司其他团队的同事或者自己团队的同事，那要注明来源及感谢，用这个形式就可以

issue，问题

AR ，action request，中文我也不知道怎么翻译（看评论区有没有翻译出来的），解释起来就是针对某个问题（issue），目前没有解决，那就需要做调查，需要你做调查就叫做AR

Check，检查，半导体fab，两个人相互合作，如果A同事需要另外B同事帮忙查一下某个数据，那B同事一般会说：我check一下然后告诉你，其实也就是查一下，但一般习惯于说check。

double confirm ，double check，再次确认某些数据比较重要，可能需要重复确认是否数据有误，这个一般叫做double confirm或者double check

Outlook，微软的办公软件邮箱

calendar ，日历，一般是不同部门之间需要进行一个会议讨论某些问题，然后会议发起人在Outlook上预订会议，发送给需要参加会议的人，那收到邀请的人就会在自己的日历上看到会议的信息，这个就叫calendar

schedule， on schedule 就叫做如期，schedule delay就叫做延期，一般用来指某个项目的进度状态

linedown ，停线，在半导体fab 而言，停线的意思是停止生产，这是很严重的，需要所有相关人员全力找出原因，快速恢复生产

priority 优先级，一般fab工作，每个人手上都不会仅仅一件事，那优先级的意思就是你需要先做最紧急的事情

CIP continue improve plan，持续改善计划，针对某个问题，很多解决方案都不是最完美的，或者并不能一次解决掉，那对于这样的问题，一般的做法是一步一步改善，这个就叫CIP，直到问题完全解决或者到可以接受的程度